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產(chǎn)品中心爐式合成設(shè)備TF系列管式爐式設(shè)備
產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品分類
| TF☆ | ☆ | P☆ | ☆ | ☆ |
| 型號 | 工作溫度(℃) | 爐管外徑(mm) | 加熱區(qū)數(shù)量 | 加熱區(qū)長度(mm) |
| TFH：臥式型 | 1200：1200℃ | 25：Φ25mm | Ⅰ：單溫區(qū) | 150：150mm |
| TFV：立式型 | 1500：1500℃ | 30：Φ30mm | Ⅱ：雙溫區(qū) | 220：220mm |
| TFR：回轉(zhuǎn)型 | 1700：1700℃ | 50：Φ50mm | Ⅲ：三溫區(qū) | 290：290mm |
| TFM：多工位型 |
| 60：Φ60mm |
| 440：440mm |
| TFP：高壓型 |
| 80：Φ80mm |
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| TFC：CVD |
| 100：Φ100mm |
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| TFE：PECVD |
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| TFG：氣氛焙燒型 |
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| TFD：定制型 |
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| 微型助力管式爐（了解更多） | 實(shí)驗(yàn)級助力管式爐（了解更多） |
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| 1500開啟式單溫區(qū)管式爐（了解更多） | 1500單溫區(qū)管式爐（了解更多） | 1700單溫區(qū)管式爐（了解更多） |
| 參數(shù)/類型 | TFH臥式管式爐 | ||||
| 按工作溫度分類 | 1200℃系列 | 1500℃系列 | 1700℃系列 | ||
| 系列分類 | 微型助力管式爐 | 實(shí)驗(yàn)級助力管式爐 | 1500開啟式單溫區(qū)管式爐 | 1500單溫區(qū)管式爐 | 1700單溫區(qū)管式爐 |
| 溫度 | 1200℃（短期） | 1200℃（短期） | 1500℃（短期） | 1450℃（短期） | 1700℃ |
| 額定溫度 | 1100℃ | 1100℃ | 1400℃ | 1400℃ | 1600℃ |
| 升溫速率 | ≤10℃/min | ≤10℃/min | 10℃/min（≦1400℃） | ≤10℃/min | ≤10℃/min |
| 控溫精度 | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ |
| 爐管尺寸 | Φ30*500mm Φ50*500mm | Φ50*1000mm Φ60*1000mm Φ80*1000mm Φ1000*1000mm | Φ50*1000mm Φ60*1000mm Φ80*1000mm | Φ30*1000mm Φ50*1000mm Φ60*1000mm | Φ30*1000mm Φ50*1000mm |
| 爐膛尺寸 | Φ80*220mm | Φ120*440mm | 400*150*150mm | 260*190*130mm | 290*160*130mm |
| 加熱區(qū)長度 | 220mm | 440mm | 400mm | 260mm | 290mm |
| 恒溫區(qū)長度 | 60-80mm | 120mm | 120mm | 80mm | 100mm |
| 加熱元件 | 北京首鋼HRE | 北京首鋼HRE | 硅碳棒 | 硅碳棒 | 1800級硅鉬棒 |
| 額定功率 | 1.5kW | 3kW | 6kW | 6kW | 7.5kW |
| 適配電源 | AC220V 50/60HZ | AC220V 50/60HZ | AC220V 50/60HZ | AC220V 50/60HZ | AC220V 50/60HZ |
| 外形尺寸 | 340*320*380mm | 580*500*520mm | 670*580*750mm | 510*560*640mm | 820*500*760mm |
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| 微型立式管式爐（了解更多） | 實(shí)驗(yàn)級單溫區(qū)立式管式爐（了解更多） |
| 參數(shù)/類型 | TFV立式管式爐 | |
| 按加熱區(qū)長度分類 | 微型立式管式爐 | 實(shí)驗(yàn)級單溫區(qū)立式管式爐 |
| 溫度 | 1200℃（短期） | 1200℃（短期） |
| 額定溫度 | 1100℃ | 1100℃ |
| 升溫速率 | 10℃/min | ≤10℃/min |
| 控溫精度 | ±1℃ | ±1℃ |
| 爐管尺寸 | Φ30*550mm Φ50*550mm | Φ30*1000mm Φ50*1000mm Φ60*1000mm Φ80*10000mm |
| 爐膛尺寸 | Φ80*220mm | Φ120*440mm |
| 加熱區(qū)長度 | 220mm | 440mm |
| 恒溫區(qū)長度 | 60mm | 120mm |
| 加熱元件 | 北京首鋼HRE | 北京首鋼HRE |
| 額定功率 | 1.5kW | 3kW |
| 適配電源 | AC220V 50/60HZ | AC220V 50/60HZ |
| 外形尺寸 | 340*300*1200mm | 460*400*890mm |
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| 實(shí)驗(yàn)級回轉(zhuǎn)爐（了解更多） | 微型回轉(zhuǎn)爐（了解更多） |
| 參數(shù)/類型 | TFR回轉(zhuǎn)管式爐 | |
| 按加熱區(qū)長度分類 | 微型回轉(zhuǎn)爐 | 實(shí)驗(yàn)級回轉(zhuǎn)爐 |
| 溫度 | 1200℃（短期） | 1200℃（短期） |
| 額定溫度 | 1100℃ | 1100℃ |
| 升溫速率 | 0-20℃/min | 0-20℃/min |
| 控溫精度 | ±1℃ | ±1℃ |
| 爐管尺寸 | Φ30*700mm/Φ50*150mm | Φ60/Φ100*1000mm（異型） |
| 加熱區(qū)長度 | 220mm | 440mm |
| 恒溫區(qū)長度 | 60mm | 120mm |
| 旋轉(zhuǎn)速度 | 0-10r/min可調(diào) | 0-10r/min可調(diào) |
| 加熱元件 | 北京首鋼HRE | 北京首鋼HRE |
| 額定功率 | 1.5kW | 3kW |
| 適配電源 | AC220V 50/60HZ | AC220V 50/60HZ |
| 外形尺寸 | 340*300*380mm | 880*420*520mm |
| 旋轉(zhuǎn)速度 | 0-10r/min可調(diào) | 0-10r/min可調(diào) |
TFP高壓管式爐（了解更多）
| 參數(shù)/類型 | TFP高壓管式爐 |
| 產(chǎn)品類型 | 可持續(xù)進(jìn)樣高溫高壓管式爐 |
| 溫度 | 1200℃（短期） |
| 額定溫度 | 1100℃ |
| 爐管尺寸 | Φ50*Φ42*1000mm |
| 爐管材質(zhì) | 高溫合金鋼GH3128（可定制） |
| 加熱元件 | 北京首鋼HRE |
| 工作溫度與壓力對照 | 管內(nèi)壓力：≤5MPa、≤6MPa、≤7MPa、≤9MPa 加熱溫度：≤750°C、≤500°C、≤400°C、≤200°C |
| 工作氣體 | 惰性氣體和氮?dú)猓徊豢赏ㄈ胍兹家妆詺怏w |
| 進(jìn)氣流量控制 | 高壓質(zhì)子流量控制器 |
| 產(chǎn)物收集裝置 | 冷凝器；氣液分離罐 |
| 尾氣收集 | 氣袋；尾氣端流量監(jiān)控系統(tǒng) |
| 外形尺寸 | 1400*600*1200mm |
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)（了解更多）
| 參數(shù)/類型 | TFE等離子化學(xué)氣相沉積 |
| 產(chǎn)品類型 | 單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng) |
| 溫度 | 1150℃（短期） |
| 額定溫度 | 1100℃ |
| 升溫速率 | ≤10℃/min |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 爐管尺寸 | Φ50*1200mm |
| 爐膛尺寸 | Φ80*220mm |
| 加熱區(qū)長度 | 220mm |
| 恒溫區(qū)長度 | 80mm |
| 加熱元件 | 電阻絲 |
| 額定功率 | 3KW |
| 供氣系統(tǒng) | 三路高精度MFC 量程0-500sccm |
| 射頻電源 | 射頻功：5-500W；射頻頻：13.56MHz；匹配方式：自動(dòng)匹配 |
| 真空系統(tǒng) | 雙級旋片真空泵（可定制擴(kuò)散泵 分子泵等） |
| 外形尺寸 | 1250*510*810mm |
TFG催化劑氣氛焙燒活化器（了解更多）
| 參數(shù)/類型 | TFG催化劑氣氛焙燒活化器 |
| 產(chǎn)品類型 | 催化劑氣氛焙燒活化器 |
| 額定溫度 | 1100℃ |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 樣品池容積 | 10mL（可定制） |
| 樣品池直徑 | 30mm |
| 加熱區(qū)長度 | 220mm |
| 轉(zhuǎn)子流量計(jì)的量程 | 30-200mL/min（可定制） |
| 控制系統(tǒng) | 雙通道智能控溫 |
| 額定功率 | 2KW |
| 適配電源 | AC220V 50/60HZ |
| 外形尺寸 | 660*320*580mm |
TFD定制型管式爐（了解更多）
| 參數(shù)/類型 | TFD定制型管式爐 |
| 產(chǎn)品類型 | 熱重立式爐 |
| 溫度 | 1100℃（短期） |
| 額定溫度 | 1000℃ |
| 加熱元件 | 電阻絲 |
| 爐管尺寸 | Φ70*Φ50*350mm（其他可定制） |
| 加熱區(qū)長度 | 220mm |
| 升溫速率 | ≤10℃/min |
| 額定功率 | 3.5kW |
| 適配電源 | AC220V 50/60HZ |
| 外形尺寸 | 800*500*1550mm |
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